移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题 | |
于瀛洁[1]; 韦春龙[2]; 陈明仪[3] | |
2001 | |
会议名称 | 2001微机电系统与机器人学术讨论会 |
会议日期 | 2001-08-24 |
关键词 | 波面干涉仪 移相值标定 相位解调 误差处理 |
页码 | 584-587 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2420571 |
专题 | 上海大学 |
作者单位 | [1]上海大学精密机械工程系(上海[2]上海大学精密机械工程系(上海[3]上海大学精密机械工程系(上海 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 于瀛洁[1],韦春龙[2],陈明仪[3]. 移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题[C]. 见:2001微机电系统与机器人学术讨论会. 2001-08-24. |
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