| 移相式数字光学轮廓仪的研制 | |
| 于瀛洁[1]; 陈明仪[2]; 韦春龙[3] | |
| 2001 | |
| 会议名称 | 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议 |
| 会议日期 | 2001-08-06 |
| 关键词 | 移相干涉技术 干涉显微镜 数字光学轮廓仪 |
| 页码 | 145-146 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2419647 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]上海大学精密机械工程系[2]上海大学精密机械工程系[3]上海大学精密机械工程系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于瀛洁[1],陈明仪[2],韦春龙[3]. 移相式数字光学轮廓仪的研制[C]. 见:中国仪器仪表学会第三届青年学术会议. 2001-08-06. |
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