| 移相式数字光学轮廓仪的研制 | |
| 于瀛洁[1]; 陈明仪[2]; 韦春龙[3] | |
| 刊名 | 仪器仪表学报
 |
| 2001 | |
| 卷号 | 22页码:145-146 |
| 关键词 | 移相干涉技术 干涉显微镜 数字光学轮廓仪 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2419069 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]上海大学延长校区精密机械工程系,上海,200072[2]上海大学延长校区精密机械工程系,上海,200072[3]上海大学延长校区精密机械工程系,上海,200072 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于瀛洁[1],陈明仪[2],韦春龙[3]. 移相式数字光学轮廓仪的研制[J]. 仪器仪表学报,2001,22:145-146. |
| APA | 于瀛洁[1],陈明仪[2],&韦春龙[3].(2001).移相式数字光学轮廓仪的研制.仪器仪表学报,22,145-146. |
| MLA | 于瀛洁[1],et al."移相式数字光学轮廓仪的研制".仪器仪表学报 22(2001):145-146. |
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