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	Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究
	Fang, ZJ[1]; Xia, YB[2]; Wang, LJ[3]; Zhang, WL[4]; Ma, ZG[5]; Zhang, ML[6]
刊名	物理学报
	2003
卷号	52页码:1028-1033
关键词	金刚石薄膜 应力 离子注入 Al_2O_3陶瓷
ISSN号	1000-3290
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2413084
专题	上海大学
作者单位	上海大学材料科学与工程学院, 上海 201800, 中国
推荐引用方式 GB/T 7714	Fang, ZJ[1],Xia, YB[2],Wang, LJ[3],等. Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究[J]. 物理学报,2003,52:1028-1033.
APA	Fang, ZJ[1],Xia, YB[2],Wang, LJ[3],Zhang, WL[4],Ma, ZG[5],&Zhang, ML[6].(2003).Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究.物理学报,52,1028-1033.
MLA	Fang, ZJ[1],et al."Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究".物理学报 52(2003):1028-1033.

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