Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究 | |
Fang, ZJ[1]; Xia, YB[2]; Wang, LJ[3]; Zhang, WL[4]; Ma, ZG[5]; Zhang, ML[6] | |
刊名 | 物理学报
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2003 | |
卷号 | 52页码:1028-1033 |
关键词 | 金刚石薄膜 应力 离子注入 Al_2O_3陶瓷 |
ISSN号 | 1000-3290 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2413084 |
专题 | 上海大学 |
作者单位 | 上海大学材料科学与工程学院, 上海 201800, 中国 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Fang, ZJ[1],Xia, YB[2],Wang, LJ[3],等. Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究[J]. 物理学报,2003,52:1028-1033. |
APA | Fang, ZJ[1],Xia, YB[2],Wang, LJ[3],Zhang, WL[4],Ma, ZG[5],&Zhang, ML[6].(2003).Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究.物理学报,52,1028-1033. |
MLA | Fang, ZJ[1],et al."Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究".物理学报 52(2003):1028-1033. |
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