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	The analysis of squeezed air-damping on the planar mems structures
	Wang, X.[1]; Wang, M.[2]; Liu, Y.[3]
	2005
会议名称	2005 World Tribology Congress III
会议日期	2005-09-12
页码	811-812
URL标识	查看原文
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2399191
专题	上海大学
作者单位	[1]School of Mechatronics Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai, China[2]School of Mechatronics Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai, China[3]School of Mechatronics Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai, China
推荐引用方式 GB/T 7714	Wang, X.[1],Wang, M.[2],Liu, Y.[3]. The analysis of squeezed air-damping on the planar mems structures[C]. 见:2005 World Tribology Congress III. 2005-09-12.

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