| 金刚石高频SAW器件中关键材料的制备研究 | |
| 刘健敏[1]; 夏义本[2]; 王林军[3]; 阮建锋[4]; 苏青峰[5]; 史伟民[6] | |
| 刊名 | 压电与声光
 |
| 2006 | |
| 卷号 | 28页码:627-629 |
| 关键词 | 自支撑金刚石膜 表面粗糙度 氧化锌薄膜 c轴择优取向 |
| ISSN号 | 1004-2474 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2395192 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1] 上海大学材料科学与工程学院, 上海 200072, 中国[2] 上海大学材料科学与工程学院, 上海 200072, 中国[3] 上海大学材料科学与工程学院, 上海 200072, 中国[4] 上海大学材料科学与工程学院, 上海 200072, 中国[5] 上海大学材料科学与工程学院, 上海 200072, 中国[6] 上海大学材料科学与工程学院, 上海 200072, 中国 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘健敏[1],夏义本[2],王林军[3],等. 金刚石高频SAW器件中关键材料的制备研究[J]. 压电与声光,2006,28:627-629. |
| APA | 刘健敏[1],夏义本[2],王林军[3],阮建锋[4],苏青峰[5],&史伟民[6].(2006).金刚石高频SAW器件中关键材料的制备研究.压电与声光,28,627-629. |
| MLA | 刘健敏[1],et al."金刚石高频SAW器件中关键材料的制备研究".压电与声光 28(2006):627-629. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论