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	用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究
	Liu, Jian-Min[1]; Xia, Yi-Ben[2]; Wang, Lin-Jun[3]; Ruan, Jian-Feng[4]; Su, Qing-Feng[5]; Jiang, Li-Wen[6]; Shi, Wei-Min[7]
刊名	材料科学与工艺
	2006
卷号	14页码:408-411
关键词	自支撑金刚石膜 表面粗糙度 氧化锌薄膜 声表面波器件
ISSN号	1005-0299
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2391627
专题	上海大学
作者单位	[1]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China |Jingdezhen Ceramic Institute, Jingdezhen 333001, China[2]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [3]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [4]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [5]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [6]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [7]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China
推荐引用方式 GB/T 7714	Liu, Jian-Min[1],Xia, Yi-Ben[2],Wang, Lin-Jun[3],等. 用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究[J]. 材料科学与工艺,2006,14:408-411.
APA	Liu, Jian-Min[1].,Xia, Yi-Ben[2].,Wang, Lin-Jun[3].,Ruan, Jian-Feng[4].,Su, Qing-Feng[5].,...&Shi, Wei-Min[7].(2006).用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究.材料科学与工艺,14,408-411.
MLA	Liu, Jian-Min[1],et al."用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究".材料科学与工艺 14(2006):408-411.

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