用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究 | |
Liu, Jian-Min[1]; Xia, Yi-Ben[2]; Wang, Lin-Jun[3]; Ruan, Jian-Feng[4]; Su, Qing-Feng[5]; Jiang, Li-Wen[6]; Shi, Wei-Min[7] | |
刊名 | 材料科学与工艺
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2006 | |
卷号 | 14页码:408-411 |
关键词 | 自支撑金刚石膜 表面粗糙度 氧化锌薄膜 声表面波器件 |
ISSN号 | 1005-0299 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2391627 |
专题 | 上海大学 |
作者单位 | [1]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China |Jingdezhen Ceramic Institute, Jingdezhen 333001, China[2]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [3]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [4]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [5]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [6]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [7]School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Liu, Jian-Min[1],Xia, Yi-Ben[2],Wang, Lin-Jun[3],等. 用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究[J]. 材料科学与工艺,2006,14:408-411. |
APA | Liu, Jian-Min[1].,Xia, Yi-Ben[2].,Wang, Lin-Jun[3].,Ruan, Jian-Feng[4].,Su, Qing-Feng[5].,...&Shi, Wei-Min[7].(2006).用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究.材料科学与工艺,14,408-411. |
MLA | Liu, Jian-Min[1],et al."用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究".材料科学与工艺 14(2006):408-411. |
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