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题名	高精度数字式光学膜厚监控系统的研制
作者	鞠兵
答辩日期	2005
授予单位	四川大学
导师	蔡邦维
关键词	光学薄膜 光学膜厚监控系统 数字式锁相放大器 精度
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2356999
专题	四川大学
作者单位	四川大学
推荐引用方式 GB/T 7714	鞠兵. 高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D]. 四川大学. 2005.

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