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基于柔性铰链支承的热驱动硅微机械手的力学模型及性能分析
沈雪瑾[1]; 王旭[2]; 戚伟俊[3]; 李科委[4]; 吴文蕾[5]
刊名传感技术学报
2008
卷号21页码:284-287
关键词微型机电系统 微机械手 V型梁电热致动器 柔性铰链
ISSN号1004-1699
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2342959
专题上海大学
作者单位上海大学机械自动化系, 上海 200072, 中国
推荐引用方式
GB/T 7714
沈雪瑾[1],王旭[2],戚伟俊[3],等. 基于柔性铰链支承的热驱动硅微机械手的力学模型及性能分析[J]. 传感技术学报,2008,21:284-287.
APA 沈雪瑾[1],王旭[2],戚伟俊[3],李科委[4],&吴文蕾[5].(2008).基于柔性铰链支承的热驱动硅微机械手的力学模型及性能分析.传感技术学报,21,284-287.
MLA 沈雪瑾[1],et al."基于柔性铰链支承的热驱动硅微机械手的力学模型及性能分析".传感技术学报 21(2008):284-287.
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