一种SICM的相位调制成像模式扫描装置和方法

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	一种SICM的相位调制成像模式扫描装置和方法
	张常麟; 杨洋; 王越超; 李广勇; 李鹏; 刘连庆
	2016-02-03
著作权人	中国科学院沈阳自动化研究所
国家	中国
文献子类	发明授权
产权排序	1
其他题名	Phase modulation imaging mode scanning device and method of SICM
英文摘要	本发明涉及一种SICM的相位调制成像模式扫描装置，包括信号发生器、锁相放大器、膜片钳放大器、控制器、探针、XY纳米平台和Z向纳米压电陶瓷；所述信号发生器、膜片钳放大器、锁相放大器、控制器依次连接；所述信号发生器与锁相放大器连接，膜片钳放大器与探针连接；方法包括：信号发生器输出两路交流信号分别至锁相放大器、膜片钳放大器；调节膜片钳放大器的补偿电容值；锁相放大器提取电流分量，并将幅值反馈至控制器，控制器根据该幅值实时控制探针高度，实现样品的扫描。本发明仅提取某一频率下的交流分量作为反馈值，因此能克服直流模式下直流漂移、易受电气噪声影响等缺点；具有比传统交流模式更高的调制频率，因此可实现加快扫描的目的。
公开日期	2019-01-22
申请日期	2014-07-24
语种	中文
状态	有权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/24077]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
作者单位	中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张常麟,杨洋,王越超,等. 一种SICM的相位调制成像模式扫描装置和方法. 2016-02-03.