面向微粒操纵的介电泳芯片系统研究

CORC > 沈阳自动化研究所 > 中国科学院沈阳自动化研究所 > 机器人学研究室

	面向微粒操纵的介电泳芯片系统研究
	童兆宏; 费飞 ; 曲艳丽; 董再励; 李文荣
刊名	传感技术学报
	2007
卷号	20 期号:10 页码:2194-2198
关键词	介电泳微粒操纵微电极阵列有限元方法
ISSN号	1004-1699
其他题名	Development of a Dielectrophoretic Chip System for Micro-Particle Manipulation
产权排序	1
英文摘要	针对目前在纳米器件及传感器的制造中尚无对大量粒子进行有效操纵的方法,我们利用介电泳方法对大量微粒进行定位和传输操纵,介绍了利用MEMS工艺进行介电泳芯片加工的过程以及整个观测与实验系统的建立,通过有限元软件对传统介电泳和行波介电泳中电极阵列的电场分布进行求解,并在该实验系统下实现了对微通道中的悬浮高度和微粒的运动速度的测量.该实验系统的研究为液体环境下微纳颗粒的装配和分离提供了一条有效的技术路径.
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:2948556
资助机构	国家自然科学基金资助项目(60675060)
公开日期	2010-11-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.72.131.170//handle/173321/2575]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
通讯作者	费飞
作者单位	1.香港中文大学微纳米系统中心 2.中国科学院沈阳自动化研究所机器人学实验室 3.中国科学院研究生院 4.阿肯色州大学机械工程系
推荐引用方式 GB/T 7714	童兆宏,费飞,曲艳丽,等. 面向微粒操纵的介电泳芯片系统研究[J]. 传感技术学报,2007,20(10):2194-2198.
APA	童兆宏,费飞,曲艳丽,董再励,&李文荣.(2007).面向微粒操纵的介电泳芯片系统研究.传感技术学报,20(10),2194-2198.
MLA	童兆宏,et al."面向微粒操纵的介电泳芯片系统研究".传感技术学报 20.10(2007):2194-2198.