AFM扫描图像重构算法的改进

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	AFM扫描图像重构算法的改进
	缪磊 ; 袁帅 ; 王越超; 席宁 ; 董再励
刊名	纳米技术与精密工程
	2009
卷号	7 期号:3 页码:259-264
关键词	原子力显微镜多孔铝薄膜探针盲建模数学形态学扫描图像
ISSN号	1672-6030
其他题名	Improvement of Reconstruction Algorithm of AFM Scanning Images
产权排序	1
英文摘要	针对原子力显微镜(AFM)纳米成像中存在的失真问题,研究了通过探针建模实现AFM扫描图像重构方法.目前探针盲建模算法在重构AFM图像时存在较大误差,因此提出基于探针模型预估计的AFM扫描图像重构方法.该方法采用分区探针针尖建模,并通过基于该探针模型的反卷积运算实现AFM扫描图像重构,获得比较接近真实形貌的AFM扫描图像.文中介绍了算法的具体步骤,通过仿真和实验结果证明,该方法能够有效降低AFM图像重构时引入的误差,得到的图像更能反映样品表面真实的形貌。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:3531378
资助机构	国家高技术研究发展计划(863)项目(2009AA03Z316); 国家自然科学基金重点项目(60635040); 辽宁省博士启动基金资助项目
公开日期	2010-11-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.72.131.170//handle/173321/2387]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
通讯作者	袁帅
作者单位	1.中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室 2.中国科学院研究生院 3.密歇根州立大学电子和计算机工程系
推荐引用方式 GB/T 7714	缪磊,袁帅,王越超,等. AFM扫描图像重构算法的改进[J]. 纳米技术与精密工程,2009,7(3):259-264.
APA	缪磊,袁帅,王越超,席宁,&董再励.(2009).AFM扫描图像重构算法的改进.纳米技术与精密工程,7(3),259-264.
MLA	缪磊,et al."AFM扫描图像重构算法的改进".纳米技术与精密工程 7.3(2009):259-264.