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	光刻胶显影过程三维模拟可视化方法
	万旺根[1]; 崔滨[2]; 吴永亮[3]; 余小清[4]
	2009
权利人	上海大学
URL标识	查看原文
申请日期	2009-06-26
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2322712
专题	上海大学
作者单位	上海大学
推荐引用方式 GB/T 7714	万旺根[1],崔滨[2],吴永亮[3],等. 光刻胶显影过程三维模拟可视化方法. 2009-01-01.

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