基于体硅工艺的集成式定位平台 | |
Wang, Jia-Chou[1]; Rong, Wei-Bin[2]; Li, Xin-Xin[3]; Sun, Li-Ning[4]; Ma, Li[5] | |
刊名 | 光学精密工程
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2009 | |
卷号 | 17页码:333-340 |
关键词 | 体硅工艺 纳米级定位平台 静电驱动 致动机理 特性分析 |
ISSN号 | 1004-924X |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2321389 |
专题 | 上海大学 |
作者单位 | [1]State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 20050, China [2]State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China [3]State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 20050, China [4]State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China [5]School of Mechanical and Electronic Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, Jia-Chou[1],Rong, Wei-Bin[2],Li, Xin-Xin[3],等. 基于体硅工艺的集成式定位平台[J]. 光学精密工程,2009,17:333-340. |
APA | Wang, Jia-Chou[1],Rong, Wei-Bin[2],Li, Xin-Xin[3],Sun, Li-Ning[4],&Ma, Li[5].(2009).基于体硅工艺的集成式定位平台.光学精密工程,17,333-340. |
MLA | Wang, Jia-Chou[1],et al."基于体硅工艺的集成式定位平台".光学精密工程 17(2009):333-340. |
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