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	基于体硅工艺的集成式定位平台
	Wang, Jia-Chou[1]; Rong, Wei-Bin[2]; Li, Xin-Xin[3]; Sun, Li-Ning[4]; Ma, Li[5]
刊名	光学精密工程
	2009
卷号	17页码:333-340
关键词	体硅工艺 纳米级定位平台 静电驱动 致动机理 特性分析
ISSN号	1004-924X
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2321389
专题	上海大学
作者单位	[1]State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 20050, China [2]State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China [3]State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 20050, China [4]State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China [5]School of Mechanical and Electronic Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China
推荐引用方式 GB/T 7714	Wang, Jia-Chou[1],Rong, Wei-Bin[2],Li, Xin-Xin[3],等. 基于体硅工艺的集成式定位平台[J]. 光学精密工程,2009,17:333-340.
APA	Wang, Jia-Chou[1],Rong, Wei-Bin[2],Li, Xin-Xin[3],Sun, Li-Ning[4],&Ma, Li[5].(2009).基于体硅工艺的集成式定位平台.光学精密工程,17,333-340.
MLA	Wang, Jia-Chou[1],et al."基于体硅工艺的集成式定位平台".光学精密工程 17(2009):333-340.

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