多循环快速热退火诱导普通玻璃衬底非晶硅薄膜晶化 | |
於凡枫[1]; 金晶[2]; 史伟民[3]; 瞿晓雷[4]; 许月阳[5] | |
刊名 | 上海大学学报(自然科学版)
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2012 | |
卷号 | 18页码:327-330 |
关键词 | 多循环快速热退火 非晶硅 晶化 |
ISSN号 | 1007-2861 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2298801 |
专题 | 上海大学 |
作者单位 | [1]上海大学材料科学与工程学院,上海,200072[2]上海大学材料科学与工程学院,上海,200072[3]上海大学材料科学与工程学院,上海,200072[4]上海大学材料科学与工程学院,上海,200072[5]上海大学材料科学与工程学院,上海,200072 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 於凡枫[1],金晶[2],史伟民[3],等. 多循环快速热退火诱导普通玻璃衬底非晶硅薄膜晶化[J]. 上海大学学报(自然科学版),2012,18:327-330. |
APA | 於凡枫[1],金晶[2],史伟民[3],瞿晓雷[4],&许月阳[5].(2012).多循环快速热退火诱导普通玻璃衬底非晶硅薄膜晶化.上海大学学报(自然科学版),18,327-330. |
MLA | 於凡枫[1],et al."多循环快速热退火诱导普通玻璃衬底非晶硅薄膜晶化".上海大学学报(自然科学版) 18(2012):327-330. |
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