采用正面腐蚀方式制造流量传感器的方法 | |
薛维佳[1]; 席韡[2]; 陈晨[3]; 王林军[4]; 闵嘉华[5]; 史伟民[6] | |
2012 | |
权利人 | 上海大学 |
URL标识 | 查看原文 |
申请日期 | 2012-10-12 |
内容类型 | 专利 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2297324 |
专题 | 上海大学 |
作者单位 | 上海大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛维佳[1],席韡[2],陈晨[3],等. 采用正面腐蚀方式制造流量传感器的方法. 2012-01-01. |
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