CORC  > 上海大学
题名溶胶凝胶法制备氧化物薄膜晶体管
作者李倩[1]
答辩日期2012
授予单位上海大学
导师李喜峰
关键词薄膜晶体管 溶胶凝胶法 镓锌氧化物(GZO) 铟锌氧化物(IZO) 铟镓锌氧化物(IGZO)
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内容类型学位论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2294992
专题上海大学
作者单位[1]上海大学
推荐引用方式
GB/T 7714
李倩[1]. 溶胶凝胶法制备氧化物薄膜晶体管[D]. 上海大学. 2012.
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