| ZnO薄膜晶体管真空退火设备的研究 | |
| 靳丽岩[1]; 王宏杰[2]; 张浩[3]; 赵雪峰[4] | |
| 刊名 | 电子工业专用设备
 |
| 2012 | |
| 卷号 | 41页码:35-40 |
| 关键词 | ZnO-TFT 真空退火 石英管 双室 |
| ISSN号 | 1004-4507 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2294258 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | 1.中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原,030024 2.上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 靳丽岩[1],王宏杰[2],张浩[3],等. ZnO薄膜晶体管真空退火设备的研究[J]. 电子工业专用设备,2012,41:35-40. |
| APA | 靳丽岩[1],王宏杰[2],张浩[3],&赵雪峰[4].(2012).ZnO薄膜晶体管真空退火设备的研究.电子工业专用设备,41,35-40. |
| MLA | 靳丽岩[1],et al."ZnO薄膜晶体管真空退火设备的研究".电子工业专用设备 41(2012):35-40. |
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