| 溅射压强对Sc掺杂ZnO薄膜绒面结构的影响 | |
| 宋晨辰[1]; 赵占霞[2]; 马忠权[3]; 赵磊[4]; 孟凡英[5] | |
| 刊名 | 光电子技术
 |
| 2014 | |
| 卷号 | 34页码:11-15 |
| 关键词 | SZO薄膜 溅射压强 绒面结构 光学性质 |
| ISSN号 | 1005-488X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2270795 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]上海大学理学院物理系,上海,200444[2]上海大学理学院物理系,上海,200444[3]上海大学理学院物理系,上海,200444[4]上海大学理学院物理系,上海,200444[5]中科院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心,上海,201800 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋晨辰[1],赵占霞[2],马忠权[3],等. 溅射压强对Sc掺杂ZnO薄膜绒面结构的影响[J]. 光电子技术,2014,34:11-15. |
| APA | 宋晨辰[1],赵占霞[2],马忠权[3],赵磊[4],&孟凡英[5].(2014).溅射压强对Sc掺杂ZnO薄膜绒面结构的影响.光电子技术,34,11-15. |
| MLA | 宋晨辰[1],et al."溅射压强对Sc掺杂ZnO薄膜绒面结构的影响".光电子技术 34(2014):11-15. |
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