偏压对磁控溅射制备Ni掺杂TiB_2基涂层结构及力学性能的影响 | |
李沛[1]; 谷文翠[2]; 钟庆东[3]; 贾丛丛[4]; 黄峰[5] | |
刊名 | 真空科学与技术学报
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2015 | |
卷号 | 35页码:594-600 |
关键词 | 磁控溅射 TiB_2涂层 金属掺杂 断裂韧性 摩擦磨损 |
ISSN号 | 1672-7126 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2269789 |
专题 | 上海大学 |
作者单位 | [1] 上海大学, 上海市省部共建高品质特殊钢治金与制备国家重点实验室, 上海 200012, 中国[2] 中国科学院宁波材料技术与工程研究所, 宁波, 浙江 315201, 中国[3] 上海大学, 上海市省部共建高品质特殊钢治金与制备国家重点实验室, 上海 200012, 中国[4] 上海大学, 上海市省部共建高品质特殊钢治金与制备国家重点实验室, 上海 200012, 中国[5] 中国科学院宁波材料技术与工程研究所, 宁波, 浙江 315201, 中国 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李沛[1],谷文翠[2],钟庆东[3],等. 偏压对磁控溅射制备Ni掺杂TiB_2基涂层结构及力学性能的影响[J]. 真空科学与技术学报,2015,35:594-600. |
APA | 李沛[1],谷文翠[2],钟庆东[3],贾丛丛[4],&黄峰[5].(2015).偏压对磁控溅射制备Ni掺杂TiB_2基涂层结构及力学性能的影响.真空科学与技术学报,35,594-600. |
MLA | 李沛[1],et al."偏压对磁控溅射制备Ni掺杂TiB_2基涂层结构及力学性能的影响".真空科学与技术学报 35(2015):594-600. |
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