| 一种化学刻蚀机; 一种化学刻蚀机 | |
| 李恒强 ; 陈光文 | |
| 2005-09-21 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN200420093078.4 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 关键词 | 物理化学 |
| 权利人 | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种小型化学刻蚀机是由振荡器、刻蚀槽、固定支架、加热器和温度控制器组成。刻蚀机的振荡器速度可调，刻蚀槽温度可从室温至90℃之间可调，特别适合于不锈钢薄板的化学刻蚀。同时也可以用于硅片、瓷片、铝片、玻璃、有机玻璃、及合金材料的化学刻蚀。本刻蚀机具有体积小，重量轻，能耗小，结构简单，价格低廉，操作方便，控温精度高的特点。是一种小巧，经济实用的湿法化学刻蚀机。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 学科主题 | 物理化学 |
| 公开日期 | 2005-09-21 ; 2011-07-11 |
| 申请日期 | 2004-09-06 |
| 语种 | 中文 |
| 资助信息 | 大连化物所 |
| 专利证书号 | 带填写 |
| 专利申请号 | CN200420093078.4 |
| 专利代理 | 周长兴 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.238.44/handle/321008/109151]  |
| 专题 | 大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李恒强,陈光文. 一种化学刻蚀机, 一种化学刻蚀机. CN200420093078.4. 2005-09-21. |
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