弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响 | |
瞿全炎[1,2]; 邱万奇[1]; 曾德长[1]; 钟喜春[1]; 刘正义[1] | |
刊名 | 《材料科学与工艺》
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2010 | |
页码 | 690-694 |
关键词 | 弯曲磁过滤电流 TiN膜质量 等离子体 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2250092 |
专题 | 华南理工大学 |
作者单位 | [1]华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640 [2]广东省特种设备检测院,广州510655 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 瞿全炎[1,2],邱万奇[1],曾德长[1],等. 弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响[J]. 《材料科学与工艺》,2010:690-694. |
APA | 瞿全炎[1,2],邱万奇[1],曾德长[1],钟喜春[1],&刘正义[1].(2010).弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响.《材料科学与工艺》,690-694. |
MLA | 瞿全炎[1,2],et al."弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响".《材料科学与工艺》 (2010):690-694. |
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