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	弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响
	瞿全炎[1,2]; 邱万奇[1]; 曾德长[1]; 钟喜春[1]; 刘正义[1]
刊名	《材料科学与工艺》
	2010
页码	690-694
关键词	弯曲磁过滤电流 TiN膜质量 等离子体
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2250092
专题	华南理工大学
作者单位	[1]华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640 [2]广东省特种设备检测院,广州510655
推荐引用方式 GB/T 7714	瞿全炎[1,2],邱万奇[1],曾德长[1],等. 弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响[J]. 《材料科学与工艺》,2010:690-694.
APA	瞿全炎[1,2],邱万奇[1],曾德长[1],钟喜春[1],&刘正义[1].(2010).弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响.《材料科学与工艺》,690-694.
MLA	瞿全炎[1,2],et al."弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响".《材料科学与工艺》 (2010):690-694.

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