| 金属有机化学气相沉积薄膜制备中传热传质的数值模拟 | |
| 蔡茜茜[1]; 雷知迪[2]; 丁珏[3]; 翁培奋[4] | |
| 刊名 | 上海大学学报（自然科学版）
 |
| 2015 | |
| 卷号 | 21页码:732-741 |
| 关键词 | 金属有机化学气相沉积 GaAs 薄膜生长速率 扩散边界层 数值模拟 |
| ISSN号 | 1007-2861 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2241197 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]上海大学上海市应用数学和力学研究所[2]上海大学上海市应用数学和力学研究所[3]上海大学上海市应用数学和力学研究所[4]上海大学上海市应用数学和力学研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔡茜茜[1],雷知迪[2],丁珏[3],等. 金属有机化学气相沉积薄膜制备中传热传质的数值模拟[J]. 上海大学学报（自然科学版）,2015,21:732-741. |
| APA | 蔡茜茜[1],雷知迪[2],丁珏[3],&翁培奋[4].(2015).金属有机化学气相沉积薄膜制备中传热传质的数值模拟.上海大学学报（自然科学版）,21,732-741. |
| MLA | 蔡茜茜[1],et al."金属有机化学气相沉积薄膜制备中传热传质的数值模拟".上海大学学报（自然科学版） 21(2015):732-741. |
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