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物体微观表面形貌的光学五自由度测量装置及测量方法
田应仲[1]; 齐济[2]; 张雯君[3]
2015
权利人上海大学
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申请日期2015-04-28
内容类型专利
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2237752
专题上海大学
作者单位上海大学
推荐引用方式
GB/T 7714
田应仲[1],齐济[2],张雯君[3]. 物体微观表面形貌的光学五自由度测量装置及测量方法. 2015-01-01.
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