| 偏压对Cr-Si-N涂层的结构与性能的影响 | |
| 贾丛丛[1]; 李沛[2]; 葛芳芳[3]; 王恩青[4]; 黄峰[5]; 鲁晓刚[6] | |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
 |
| 2016 | |
| 卷号 | 36页码:418-424 |
| 关键词 | 物理气相沉积磁控溅射 偏压 Cr-Si-N涂层 机械性能 摩擦行为 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2233010 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | 1.上海大学材料科学与工程学院 上海200444 2.中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 宁波315201 3.上海大学材料科学与工程学院 上海200444 4.中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 宁波315201 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾丛丛[1],李沛[2],葛芳芳[3],等. 偏压对Cr-Si-N涂层的结构与性能的影响[J]. 真空科学与技术学报,2016,36:418-424. |
| APA | 贾丛丛[1],李沛[2],葛芳芳[3],王恩青[4],黄峰[5],&鲁晓刚[6].(2016).偏压对Cr-Si-N涂层的结构与性能的影响.真空科学与技术学报,36,418-424. |
| MLA | 贾丛丛[1],et al."偏压对Cr-Si-N涂层的结构与性能的影响".真空科学与技术学报 36(2016):418-424. |
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