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	一种微纳结构的制作装置及方法
	孟允[1]; 王文冲[2]; 张凯[3]; 王海[4]; 付群[5]; 吴明红[6]; 雷勇[7]
	2016
权利人	上海大学
URL标识	查看原文
申请日期	2016-03-03
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2229757
专题	上海大学
作者单位	上海大学
推荐引用方式 GB/T 7714	孟允[1],王文冲[2],张凯[3],等. 一种微纳结构的制作装置及方法. 2016-01-01.

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