CORC  > 华南理工大学
钛过渡层及研磨预处理对金刚石薄膜质量的影响
赵齐[1,2]; 代明江[1]; 韦春贝[1]; 邱万奇[2]
刊名《热加工工艺》
2013
卷号42页码:97-99
关键词金刚石薄膜 热丝CVD 钛过渡层 研磨预处理
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2220402
专题华南理工大学
作者单位1.[1]广东省工业技术研究院,广东广州510651
2.[2]华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州510640
推荐引用方式
GB/T 7714
赵齐[1,2],代明江[1],韦春贝[1],等. 钛过渡层及研磨预处理对金刚石薄膜质量的影响[J]. 《热加工工艺》,2013,42:97-99.
APA 赵齐[1,2],代明江[1],韦春贝[1],&邱万奇[2].(2013).钛过渡层及研磨预处理对金刚石薄膜质量的影响.《热加工工艺》,42,97-99.
MLA 赵齐[1,2],et al."钛过渡层及研磨预处理对金刚石薄膜质量的影响".《热加工工艺》 42(2013):97-99.
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