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	采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究 (EI收录)
	沈奕[1,2]; 姚若河[1]
刊名	《功能材料》
	2013
卷号	44页码:3146-3148
关键词	掺Ti氧化铟 室温沉积 激光退火
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内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2219744
专题	华南理工大学
作者单位	[1]华南理工大学电子与信息学院,广东广州510000 [2]汕头超声显示器有限公司,广东汕头515041
推荐引用方式 GB/T 7714	沈奕[1,2],姚若河[1]. 采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究 (EI收录)[J]. 《功能材料》,2013,44:3146-3148.
APA	沈奕[1,2],&姚若河[1].(2013).采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究 (EI收录).《功能材料》,44,3146-3148.
MLA	沈奕[1,2],et al."采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究 (EI收录)".《功能材料》 44(2013):3146-3148.

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