采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究 (EI收录) | |
沈奕[1,2]; 姚若河[1] | |
刊名 | 《功能材料》
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2013 | |
卷号 | 44页码:3146-3148 |
关键词 | 掺Ti氧化铟 室温沉积 激光退火 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2219744 |
专题 | 华南理工大学 |
作者单位 | [1]华南理工大学电子与信息学院,广东广州510000 [2]汕头超声显示器有限公司,广东汕头515041 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈奕[1,2],姚若河[1]. 采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究 (EI收录)[J]. 《功能材料》,2013,44:3146-3148. |
APA | 沈奕[1,2],&姚若河[1].(2013).采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究 (EI收录).《功能材料》,44,3146-3148. |
MLA | 沈奕[1,2],et al."采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究 (EI收录)".《功能材料》 44(2013):3146-3148. |
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