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	磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及性能研究 (EI收录)
	张启沛[1]; 钟喜春[1]; 李春明[1]; 匡同春[1]; 郭燕伶[2]
刊名	《真空科学与技术学报》
	2015
卷号	0页码:444-450
关键词	磁过滤电弧离子镀技术 TIN薄膜 偏压 磁过滤电流
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2208755
专题	华南理工大学
作者单位	1.[1]华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640 2.[2]广州番禺职业技术学院,番禺511483
推荐引用方式 GB/T 7714	张启沛[1],钟喜春[1],李春明[1],等. 磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及性能研究 (EI收录)[J]. 《真空科学与技术学报》,2015,0:444-450.
APA	张启沛[1],钟喜春[1],李春明[1],匡同春[1],&郭燕伶[2].(2015).磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及性能研究 (EI收录).《真空科学与技术学报》,0,444-450.
MLA	张启沛[1],et al."磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及性能研究 (EI收录)".《真空科学与技术学报》 0(2015):444-450.

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