| 硅业副产物SiCl4资源化电沉积硅及其性能研究 | |
| 刘静静[1]; 赵占霞[2]; 张承龙[3]; 马忠权[4] | |
| 刊名 | 有色金属（冶炼部分）
 |
| 2017 | |
| 页码 | 75-80 |
| 关键词 | 离子液体 四氯化硅 C-AFM 硅薄膜 电学性质 |
| ISSN号 | 1007-7545 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2187365 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]上海大学理学院物理系,上海,200444[2]上海大学理学院物理系,上海,200444[3]上海电子废弃物资源化协同创新中心,上海第二工业大学电子废弃物研究中心,上海201209[4]上海大学理学院物理系,上海,200444 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘静静[1],赵占霞[2],张承龙[3],等. 硅业副产物SiCl4资源化电沉积硅及其性能研究[J]. 有色金属（冶炼部分）,2017:75-80. |
| APA | 刘静静[1],赵占霞[2],张承龙[3],&马忠权[4].(2017).硅业副产物SiCl4资源化电沉积硅及其性能研究.有色金属（冶炼部分）,75-80. |
| MLA | 刘静静[1],et al."硅业副产物SiCl4资源化电沉积硅及其性能研究".有色金属（冶炼部分） (2017):75-80. |
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