| 等离子体处理对非晶IGZO柔性薄膜晶体管性能的影响 | |
| 陈龙龙[1]; 孙翔[2]; 石继锋[3] | |
| 刊名 | 电子器件
 |
| 2018 | |
| 卷号 | 41页码:30-35 |
| 关键词 | 薄膜晶体管 铟钾锌氧 等离子体处理 柔性 |
| ISSN号 | 1005-9490 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2181078 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室,上海,200072[2]上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室,上海,200072[3]上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室,上海,200072 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈龙龙[1],孙翔[2],石继锋[3]. 等离子体处理对非晶IGZO柔性薄膜晶体管性能的影响[J]. 电子器件,2018,41:30-35. |
| APA | 陈龙龙[1],孙翔[2],&石继锋[3].(2018).等离子体处理对非晶IGZO柔性薄膜晶体管性能的影响.电子器件,41,30-35. |
| MLA | 陈龙龙[1],et al."等离子体处理对非晶IGZO柔性薄膜晶体管性能的影响".电子器件 41(2018):30-35. |
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