溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展 | |
吴宝仔; 廖荣; 刘玉荣 | |
刊名 | 《半导体技术》
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2018 | |
卷号 | 43页码:321-334 |
关键词 | 薄膜晶体管 金属氧化物半导体 溶液法 电学性能 优化方法 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2167523 |
专题 | 华南理工大学 |
作者单位 | 华南理工大学电子与信息学院,广州510640 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴宝仔,廖荣,刘玉荣. 溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展[J]. 《半导体技术》,2018,43:321-334. |
APA | 吴宝仔,廖荣,&刘玉荣.(2018).溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展.《半导体技术》,43,321-334. |
MLA | 吴宝仔,et al."溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展".《半导体技术》 43(2018):321-334. |
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