CORC  > 华南理工大学
溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展
吴宝仔; 廖荣; 刘玉荣
刊名《半导体技术》
2018
卷号43页码:321-334
关键词薄膜晶体管 金属氧化物半导体 溶液法 电学性能 优化方法
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2167523
专题华南理工大学
作者单位华南理工大学电子与信息学院,广州510640
推荐引用方式
GB/T 7714
吴宝仔,廖荣,刘玉荣. 溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展[J]. 《半导体技术》,2018,43:321-334.
APA 吴宝仔,廖荣,&刘玉荣.(2018).溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展.《半导体技术》,43,321-334.
MLA 吴宝仔,et al."溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展".《半导体技术》 43(2018):321-334.
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