表面粗糙度非接触测量装置; 表面粗糙度非接触测量装置 | |
朱青 ; 徐文东 ; 高秀敏 ; 张锋 ; 杨金涛 ; 戴珂 | |
2006-09-06 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | ZL200520044169.3 |
专利类型 | 实用新型 |
权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
中文摘要 | 一种表面粗糙度非接触测量装置,它由聚焦误差探测和控制驱动两部分组成。采用动态离焦误差检测方法,引入聚焦伺服系统,由临界角法探测到聚焦误差信号,用来控制聚焦物镜的移动,使聚焦光点始终聚焦在被测表面上,聚焦物镜的移动量反映了被测表面的高度变化。为了避免光源不均匀,及被测表面的倾角对测量的影响,采用双光路和差动技术,本实用新型大幅度提高了测量范围,可避免光源不均匀,消去了信号的畸变分量。 |
公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
申请日期 | 2005-08-09 |
收录类别 | 专利 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN200520044169.3 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9400] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱青,徐文东,高秀敏,等. 表面粗糙度非接触测量装置, 表面粗糙度非接触测量装置. ZL200520044169.3. 2006-09-06. |
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