| 表面粗糙度非接触测量系统; 表面粗糙度非接触测量系统 | |
| 朱青 ; 徐文东 ; 高秀敏 ; 张锋 ; 杨金涛 ; 戴珂 | |
| 2007-06-20 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200510028602.9 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种新型表面粗糙度测量系统。该系统由聚焦误差探测和控制驱动两部分组成。采用动态离焦误差检测方法，引入聚焦伺服系统，由临界角法探测到聚焦误差信号，用来控制聚焦物镜的移动，使聚焦光点始终聚焦在被测表面上，聚焦物镜的移动量反映了被测表面的高度变化。动态离焦误差检测方法大幅度提高了测量范围。为了避免光源不均匀，及被测表面的倾角对测量的影响，采用双光路，利用差动技术消去信号的畸变分量。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2005-08-09 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200510028602.9 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9392]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱青,徐文东,高秀敏,等. 表面粗糙度非接触测量系统, 表面粗糙度非接触测量系统. ZL200510028602.9. 2007-06-20. |
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