| 完全光纤探针扫描式近场光学显微镜; 完全光纤探针扫描式近场光学显微镜 | |
| 周飞 ; 徐文东 ; 干福熹 | |
| 2005-09-28 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200420090065.1 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种完全光纤探针扫描式近场光学显微镜，包括激光照明系统、监视系统、样品架、光纤探针扫描机构、三维粗调装置、反馈控制及数据采集系统，基本构思是：将光纤探针固定在音叉上，通过三维扫描器，带动音叉上的光纤探针在样品表面附近进行扫描。当光纤探针逼近样品表面时，光纤探针受到来自样品表面原子剪切力的作用。这个力将改变音叉的震动，从而可以解调出探针与样品之间的距离信息。将该信息反馈给Z向控制系统，以使光纤探针到样品表面的距离保持一恒定值。这一反馈信息反映样品表面的形貌。光纤探针收集到的光的强度给出了样品的透过率。本实用 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2004-09-15 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200420090065.1 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9378]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周飞,徐文东,干福熹. 完全光纤探针扫描式近场光学显微镜, 完全光纤探针扫描式近场光学显微镜. ZL200420090065.1. 2005-09-28. |
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