模块化原子力显微镜; 模块化原子力显微镜
徐文东 ; 杨金涛 ; 吉小明
2006-06-14
专利国别中国
专利号ZL200410054324.X
专利类型发明
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
中文摘要一种模块化原子力显微镜,由7个模块组成:第一模块为步近电机;第二模块是四维调整的样品架,固定在步近电机上;第三模块是z向扫描器;第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜;第五模块是xy向的扫描器;第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器;第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发明模块化原子力显微镜的调整和更换方便;利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜;样品具有粗定位的功能。
公开日期2011-07-14 ; 2011-07-15
申请日期2004-09-07
收录类别专利
语种中文
专利申请号CN200410054324.X
内容类型专利
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9352]  
专题上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
徐文东,杨金涛,吉小明. 模块化原子力显微镜, 模块化原子力显微镜. ZL200410054324.X. 2006-06-14.
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