模块化原子力显微镜; 模块化原子力显微镜 | |
徐文东 ; 杨金涛 ; 吉小明 | |
2006-06-14 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | ZL200410054324.X |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
中文摘要 | 一种模块化原子力显微镜,由7个模块组成:第一模块为步近电机;第二模块是四维调整的样品架,固定在步近电机上;第三模块是z向扫描器;第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜;第五模块是xy向的扫描器;第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器;第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发明模块化原子力显微镜的调整和更换方便;利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜;样品具有粗定位的功能。 |
公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
申请日期 | 2004-09-07 |
收录类别 | 专利 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN200410054324.X |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9352] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐文东,杨金涛,吉小明. 模块化原子力显微镜, 模块化原子力显微镜. ZL200410054324.X. 2006-06-14. |
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