可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统; 可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统 | |
师树恒 ; 王斌 ; 朱健强 | |
2008-01-09 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | ZL200720066604.1 |
专利类型 | 实用新型 |
权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
中文摘要 | 一种用于高功率激光系统的可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统。该监控系统包括:一电容传感器,该电容传感器第一极板安装在所述固定平台上,电容传感器第二极板可靠接地,且安装在由压电陶瓷驱动器驱动的所述微位移平台上,所述电容传感器第一极板经传感器测量电路、A/D转换器与主控制器的输入端相连,该主控制器的输出端经D/A转换器与所述的压电陶瓷驱动器相连。本实用新型使F-P干涉仪的间距稳定度保持在15nm/h以内,幅度调制效应的调制深度始终优于4%,能够很好地满足幅度调制效应补偿装置的技术要求。 |
公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
申请日期 | 2007-01-24 |
收录类别 | 专利 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN200720066604.1 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9198] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_高功率激光物理国家实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 师树恒,王斌,朱健强. 可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统, 可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统. ZL200720066604.1. 2008-01-09. |
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