掺钛铝酸锂晶片的制备方法; 掺钛铝酸锂晶片的制备方法
周圣明 ; 邹军 ; 徐军 ; 张连翰 ; 彭观良
2007-04-04
专利国别中国
专利号ZL200510024013.3
专利类型发明
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
中文摘要一种用于GaN基衬底的掺钛铝酸锂晶片的制备方法,包括下列步骤:①采用提拉法生长含有四价钛的掺钛铝酸锂晶体,即Ti4+:LiAlO2;②制片:将晶体切片并在富锂的气氛中利用气相传输平衡法进行处理。经测试,该Ti4+:LiAlO2晶片的热稳定性和抗水解性能明显优于纯铝酸锂晶片,是一种质量较高,尺寸较大的适用作GaN基衬底的掺钛铝酸锂晶片。
公开日期2011-07-14 ; 2011-07-15
申请日期2005-02-23
收录类别专利
语种中文
专利申请号CN200510024013.3
内容类型专利
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10074]  
专题上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
周圣明,邹军,徐军,等. 掺钛铝酸锂晶片的制备方法, 掺钛铝酸锂晶片的制备方法. ZL200510024013.3. 2007-04-04.
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