| 低气压多波长XeF准分子激光器; 低气压多波长XeF准分子激光器 | |
| 陈建文 ; 高鸿奕 ; 徐至展 | |
| 2005-11-09 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200420091195.7 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种低气压多波长XeF准分子激光器，由放电室，平行平板电容器，平行平板电容器，触发球隙，高压电源，小电感线圈，全反谐振腔镜和输出谐振腔镜组成的准分子激光器，其特征在于：所述的放电室的放电阳极和放电阴极铜圆柱面的刀口电极并分别与平行平板电容器的C1和C2相接，该放电阳极刀口的曲率半径R的取值范围是1.5-3毫米，放电阴极刀口的曲率半径R的取值范围是1-1.5毫米；该放电室内充入以氦为主的混合气体，充气压为300mmHg-400mmHg，实验证明本实用新型低气压多波 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2004-10-19 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200420091195.7 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8410]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_强场激光物理国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈建文,高鸿奕,徐至展. 低气压多波长XeF准分子激光器, 低气压多波长XeF准分子激光器. ZL200420091195.7. 2005-11-09. |
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