| 高精度薄膜应力实时测量装置; 高精度薄膜应力实时测量装置 | |
| 申雁鸣 ; 朱美萍 ; 郭世海 ; 夏志林 ; 邵建达 ; 贺洪波 ; 易葵 ; 范正修 ; 邵淑英 | |
| 2007-11-07 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200620047909.3 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型提供一种高精度薄膜应力实时测量装置，该装置由He-Ne激光器、反射镜、光电位敏探测器、A/D数据采集卡和计算机组成。整个装置可以方便地安装在任一镀膜机上，He-Ne激光器、光电位敏探测器、A/D数据采集卡和计算机均在镀膜机外，激光器光束通过镀膜机观察窗口进入镀膜室，通过反射镜调整方向射到基片上，反射光束再通过反射镜调整方向后从观察窗口出来，光电位敏探测器探测反射光束的偏转位移，数据采集卡采集光电位敏探测器的模拟信号并转化为数字信号给计算机。通过计算机对信号进行处理就可以实时监控薄膜的应力变化。本 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2006-11-17 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200620047909.3 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10176]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 申雁鸣,朱美萍,郭世海,等. 高精度薄膜应力实时测量装置, 高精度薄膜应力实时测量装置. ZL200620047909.3. 2007-11-07. |
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