| 计算机控制镀膜装置; 计算机控制镀膜装置 | |
| 朱美萍 ; 易葵 ; 郭世海 ; 贺洪波 ; 邵建达 ; 范瑞瑛 ; 范正修 ; 齐红基 | |
| 2006-10-04 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200520042282.8 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种计算机控制镀膜装置，包括由光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器四部分组成的光学膜厚监控系统，其特征在于还有带有控制程序的计算机、晶控仪、挡板开关控制电路；所述的控制程序部分包括参数设定模块和数据处理模块。本实用新型消除了由于人为因素导致的稳定性、重复性问题；采用光学监控和晶振监控结合的方法，既可以镀膜规整膜系，又可以镀制非规整膜系。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2005-06-08 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200520042282.8 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10160]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱美萍,易葵,郭世海,等. 计算机控制镀膜装置, 计算机控制镀膜装置. ZL200520042282.8. 2006-10-04. |
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