| 夹具三维运动的控制装置; 夹具三维运动的控制装置 | |
| 王建国 ; 邵建达 ; 郑韦军 ; 范正修 | |
| 2007-04-04 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200410018497.6 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种用于物理气相沉积镀膜机的夹具三维运动的控制装置，其特征在于它由计算机、驱动器、两个步进电机和支撑支架三部分组成，所述的支撑支架固定在镀膜机真空室内，该支撑支架固定第一步进电机，该第一步进电机的转轴上固定一直角钢板的一钢板，第二步进电机的转轴穿过该直角钢板的另一钢板并固定在盖钢板外侧，该步进电机的转轴的顶端固定一夹具，该夹具上安装基片；所述的计算机与驱动器相连，该驱动器通过电缆分别与第一步进电机和第二步进电机相连。本发明使镀膜的夹具相对于蒸发源的运动由二维扩展为三维，更有利于镀膜的控制。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2004-05-20 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200410018497.6 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10138]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王建国,邵建达,郑韦军,等. 夹具三维运动的控制装置, 夹具三维运动的控制装置. ZL200410018497.6. 2007-04-04. |
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