| 超精细结构的光学测量系统; 超精细结构的光学测量系统 | |
| 陈侦 ; 王桂英 ; 王之江 ; 丁志华 | |
| 2001-10-03 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 97106440.7 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种超精细结构的光学测量系统，适用于光盘表面结构、亚微米级线宽集成电路、生物组织结构以及其他纳米至亚微米级样品结构的测量。它基于透射式共焦扫描成像系统或反射式共焦扫描成像系统中加入振幅受调制的软边光阑的掩模板。具有非接触、非损伤、采用可见光激光器的相干光源，最大限度提高了系统的分辨能力，使得共焦光路能够分辨超过经典衍射极限物体细节的特点。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 1997-05-29 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN97106440.7 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9696]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_先进激光技术与应用系统实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈侦,王桂英,王之江,等. 超精细结构的光学测量系统, 超精细结构的光学测量系统. 97106440.7. 2001-10-03. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论