激光光束质量测量装置; 激光光束质量测量装置
于永爱 ; 唐前进 ; 张玲玲 ; 胡企铨
2007-04-18
专利国别中国
专利号ZL200620039036.1
专利类型实用新型
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
中文摘要一种激光光束质量测量装置,包括聚焦透镜、衰减片、采集光斑的CCD和带有高速采集卡的计算机,其特点是所述的衰减片是一漫散射板,在所述的聚焦透镜和漫散射板之间有一分光器件,该分光器件由与光路成45°平行放置在光路中的第一平板和第二平板构成,该第一平板和第二平板有一错位m,第一平板的内表面的反射率为100%,第二平板内表面的反射率的取值范围为90%~99%,第二平板的外表面镀有增透膜。本实用新型可以对重复率、高能激光器的光束质量进行准确的测量,它既能对高斯光束进行测量,又能对非高斯光束的光束质量用桶中功率比的方
公开日期2011-07-14 ; 2011-07-15
申请日期2006-01-18
收录类别专利
语种中文
专利申请号CN200620039036.1
内容类型专利
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9578]  
专题上海光学精密机械研究所_先进激光技术与应用系统实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
于永爱,唐前进,张玲玲,等. 激光光束质量测量装置, 激光光束质量测量装置. ZL200620039036.1. 2007-04-18.
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