| 反射蝇眼式光束均匀器; 反射蝇眼式光束均匀器 | |
| 叶震寰 ; 楼祺洪 ; 董景星 ; 魏运荣 ; 凌磊 | |
| 2004-11-10 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 200320109295.3 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种用于准分子激光的反射蝇眼式光束均匀器，其特征是将n2(n为正整数)小块方形的镀有全反膜的凹面镜固定在同一块方形基板上组合成n×n的蝇眼式反射镜阵列板，由两组完全相同的蝇眼式反射镜列阵板平行且与入射光束成45°地错位放置，并在光束的输出方向垂直于输出光束设置一透镜组成。每小块方形的镀有全反膜的凹面镜具有相同的曲率半径。本实用新型的反射蝇眼式光束均匀器，具有加工难度小，对加工材料要求不高，价格低廉，全反膜的损耗也很小。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2003-10-28 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200320109295.3 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9498]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_先进激光技术与应用系统实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶震寰,楼祺洪,董景星,等. 反射蝇眼式光束均匀器, 反射蝇眼式光束均匀器. 200320109295.3. 2004-11-10. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论