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题名	氘化钛真空镀膜系统的开发技术研究
作者	周自平
答辩日期	2007
授予单位	四川大学
导师	殷国富
关键词	氚化钛 真空镀膜 系统设计 CVD镀膜 化学气相沉积
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2132319
专题	四川大学
作者单位	四川大学
推荐引用方式 GB/T 7714	周自平. 氘化钛真空镀膜系统的开发技术研究[D]. 四川大学. 2007.

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