| 硅微机械自谐振传感装置; 硅微机械自谐振传感装置 | |
| 刘英明 ; 王向朝 | |
| 2008-04-23 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200610025927.6 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种硅微机械自谐振传感装置，包括光源，沿光源发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤与光源连接的准直器、偏振变换器、参考平板与谐振器。光源为半导体激光器。光源的工作电流通过直流电源控制，使得光源的光注入光强调制度最大，光源的输出光强与谐振器的形变相互影响，动态变化，使得谐振器达到自谐振状态。本发明装置的优点是不需要高精度的F-P干涉腔，不易受外界干扰，不需要特殊装置稳定谐振状态，容易实现自谐振。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2006-04-21 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200610025927.6 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8902]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘英明,王向朝. 硅微机械自谐振传感装置, 硅微机械自谐振传感装置. ZL200610025927.6. 2008-04-23. |
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