多功能光学质量检测装置; 多功能光学质量检测装置
黄惠杰 ; 刘丹 ; 任冰强 ; 赵永凯 ; 阎岩 ; 王向朝 ; 张维新 ; 王树森
2007-05-02
专利国别中国
专利号ZL200410017311.5
专利类型发明
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
中文摘要一种多功能光学质量检测装置,其特征在于它共光轴地依次设有标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、聚焦镜、CCD摄像机,所述的扫描式哈特曼光阑安装在光阑支架上,该支架上方固定有编码器,下方装有步进电机,还有计算机,所述的CCD摄像机、编码器和步进电机均与计算机相连;在计算机的控制下,通过步进电机驱动扫描式哈特曼光阑绕光轴旋转,另一方面该计算机接收CCD摄像机输出的图像和编码器给出的扫描式哈特曼光阑的位置信息,并对图像进行数据处理。本发明可用于指导光学元件加工、光路调整,评价入射光束与焦斑的质量等,具有检测精度高、速
公开日期2011-07-14 ; 2011-07-15
申请日期2004-03-30
收录类别专利
语种中文
专利申请号CN200410017311.5
内容类型专利
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8746]  
专题上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
黄惠杰,刘丹,任冰强,等. 多功能光学质量检测装置, 多功能光学质量检测装置. ZL200410017311.5. 2007-05-02.
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