MEMS及微机械加速度计可靠性研究 | |
许建军 [1]; 孔学东 [2]; 师谦 [2]; 李斌 [3] | |
会议名称 | 2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会 |
会议日期 | 2005年10月01日 |
会议地点 | 温州 |
关键词 | 微系统技术 集成电路 可靠性分析 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2118209 |
专题 | 华南理工大学 |
作者单位 | [1]华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所,广州,510640 信息产业部电子第五研究所,广州,510610 [2]信息产业部电子第五研究所,广州,510610 [3]华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所,广州,510640 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 许建军 [1],孔学东 [2],师谦 [2],等. MEMS及微机械加速度计可靠性研究[C]. 见:2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会. 温州. 2005年10月01日. |
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