CORC  > 华南理工大学
器件结构参数及工艺对ESD的影响
刘远 [1]; 恩云飞 [2]; 罗宏伟 [2]; 师谦 [2]; 李斌 [3]
会议名称2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会
会议日期2005年10月01日
会议地点温州
关键词电子器件 器件结构 抗静电
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内容类型会议论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2116911
专题华南理工大学
作者单位[1]华南理工大学微电子研究所,广州,510640 信息产业部电子第五研究所,广州,510610 [2]信息产业部电子第五研究所,广州,510610 [3]华南理工大学微电子研究所,广州,510640
推荐引用方式
GB/T 7714
刘远 [1],恩云飞 [2],罗宏伟 [2],等. 器件结构参数及工艺对ESD的影响[C]. 见:2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会. 温州. 2005年10月01日.
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